FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Ухин Владимир Иванович (RU)
СПОСОБ ОЧИСТКИ ТЕТРАМЕТОКСИСИЛАНА
// 2463305
Изобретение относится к способам очистки низших тетраалкоксисиланов, в частности тетраметоксисилана, который может быть применен в микроэлектронике и для шихт для волоконно-оптического стекловарения
СПОСОБ ОЧИСТКИ ЖИДКИХ, ЛЕТУЧИХ АЛКИЛСИЛОКСАНОВ И АЛКИЛСИЛАЗАНОВ
// 2447078
Изобретение относится к глубокой очистке алкилсилоксанов и алкилсилазанов, применяемых в производстве фоторезисторов и микроэлектронике