Патенты автора Шаповалов Виктор Иванович (RU)
Изобретение относится к способу получения магнитных пленок, используемых в устройствах спинтроники и магноники. Способ получения пленки нитрида пермаллоя FexNi1-xN, причем 0,23≤x≤0,27, включает осаждение упомянутой пленки на подложку методом реактивного магнетронного распыления мишени. Используют мишень, состоящую из двух пластин. В вакуумной камере устанавливают магнетрон, на корпусе которого жестко закрепляют внутреннюю пластину мишени из железа и внешнюю пластину мишени из никеля с прорезями в виде отверстий, имеющих суммарную площадь в диапазоне (0,95-1,71)⋅10-3 м2, и закрепляют подложку с обеспечением расстояния до мишени в интервале (33-38)⋅10-3 м. Откачивают вакуумную камеру до остаточного давления (1-5)⋅10-6 Торр, вводят плазмообразующий газ аргон с обеспечением давления в вакуумной камере (3–6)⋅10-3 Торр. Затем в вакуумную камеру вводят поток азота со скоростью в диапазоне 3-10 см3/мин и обеспечивают плотность тока разряда магнетрона в диапазоне (350-700) А/м2 для реактивного магнетронного распыления ионами аргона формирующихся на пластинах из железа и никеля нитридов железа и никеля при температуре упомянутых пластин, составляющей 1800-2000 К. Обеспечивается получение на подложке пленки нитрида пермаллоя FexNi1–xN, обладающей коэрцитивной силой менее 1 Э. 9 ил., 1 пр.
Распыляемый блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов TiхW1-xO3 относится к устройствам, используемым в электронике, оптоэлектронике, архитектуре, автомобилестроении и др. Распыляемый блок магнетрона для осаждения пленки в виде твердого раствора TiхW1-xO3 со стехиометрическим коэффициентом в диапазоне 0,01<x<0,05 содержит мишень, размещенную в реактивной среде, состоящей из плазмообразующего газа аргона и кислорода. Мишень выполнена из двух металлических пластин, расположенных на одной оси с магнетроном параллельно друг другу и жестко прикрепленных к нему. Внутренняя пластина выполнена охлаждаемой и изготовлена из титана, а внешняя – изготовлена из вольфрама, при этом в зоне ее эрозии выполнены прорези, расположенные симметрично относительно ее центра. Обеспечивается увеличение энергетической эффективности реактивного магнетронного распыления за счет управления химическим составом пленки TiхW1-xO3 посредством варьирования суммарной площадью прорезей и током разряда. 3 ил.
Изобретение относится к распылительному блоку магнетрона для осаждения пленок твердых растворов FexTi(1-x)O2 в диапазоне 0<х<0,6 на поверхности металлов, стекол или керамики. Упомянутый блок содержит мишень и охлаждающую пластину, причем мишень и охлаждающая пластина размещены в реактивной среде, состоящей из плазмообразующего газа в виде аргона и химически активного газа в виде кислорода. Мишень жестко прикреплена к охлаждающей пластине и выполнена в виде двух металлических пластин, параллельных друг другу и расположенных на одной оси с охлаждающей пластиной. Внутренняя пластина выполнена из железа, а внешняя - из титана, при этом титановая пластина выполнена с прорезями в кольцевой зоне эрозии, расположенными симметрично относительно центра мишени. Обеспечивается увеличение однородности пленок твердых растворов из двух оксидов с однородным составом по всей площади подложки, при этом химическим составом этого раствора можно управлять, варьируя суммарную площадь прорезей. 3 ил., 1 пр.
Изобретение относится к технологии получения фотокаталитически активных покрытий методом магнетронного реактивного распыления
