FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Аксенова Лидия Александровна (RU)
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК
// 2451114
Изобретение относится к устройствам локального травления тонких пленок микроэлектроники