Патенты автора Рубинштейн Владимир Михайлович (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТНОЙ ПЛЕНКИ ИЗ НАНОКЛАСТЕРОВ СИЛИЦИДОВ НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКИ // 2458181
Изобретение относится к плазменной технологии, а именно к способам получения ферромагнитных пленок из нанокластеров силицидов на поверхности кремниевой подложки методом локализованного газового разряда Ar и может быть использовано при получении базовых элементов спинтроники
Изобретение относится к устройствам локального травления тонких пленок микроэлектроники
