FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Черных Владимир Кириллович (RU)
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛОКАЛЬНОГО ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК
// 2451114
Изобретение относится к устройствам локального травления тонких пленок микроэлектроники