FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Воробьев Виталий Владимирович (RU)
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ЛОГИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ И-НЕ НА ОСНОВЕ СЛОИСТОЙ ТРЕХМЕРНОЙ НАНОСТРУКТУРЫ
// 2452058
Изобретение относится к полупроводниковой микроэлектронике и наноэлектронике и может быть использовано при создании логических интегральных схем с элементами нанометровых размеров