FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Тупикин Вячеслав Фёдорович (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТЕТРАФТОРИДА КРЕМНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ
// 2454366
Изобретение относится к технологии получения тетрафторида кремния, используемого в производстве чистого поликристаллического кремния, пригодного, например, для изготовления солнечных батарей