FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Мельников Александр Дмитриевич (RU)
СПОСОБ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
// 2456702
Изобретение относится к технологии производства электронных компонентов для микро- и наносистемной техники