FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Маляров Антон Андреевич (RU)
ТЕСТОВАЯ СТРУКТУРА ДЛЯ КАЛИБРОВКИ ПРЕДМЕТНЫХ СТОЛИКОВ РАСТРОВЫХ ЭЛЕКТРОННЫХ МИКРОСКОПОВ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ
// 2462725
Изобретение относится к области электронной микроскопии, а точнее к устройствам, обеспечивающим калибровку предметных столиков растровых электронных микроскопов в широком диапазоне перемещений