FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Мамыкин Александр Иванович (RU)
СПОСОБ ЭЛЕКТРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ
// 2462784
Изобретение относится к области электронных технологий, а именно к способам нанесения рисунков в технологии изготовления полупроводниковых устройств