Патенты автора Тупик Виктор Анатольевич (RU)
Устройство для нанесения металлического покрытия на пьезопленку вакуумно-плазменным методом // 2768679
Изобретение относится к устройству для вакуумно-плазменного нанесения металлического двухстороннего покрытия на пьезопленки. Упомянутое устройство содержит вакуумную камеру с источником ионно-плазменного распыления и держатели пьезопленок. Держатели пьезопленок выполнены в виде рамок, каждая из которых установлена на втулке, снабженной в горизонтальной плоскости четырьмя выступами параболической формы и установленной с возможностью вращения вокруг своей оси. Втулки для указанных рамок установлены на вращающемся основании на равных расстояниях от центра вращения. Каждая втулка выполнена с возможностью поворота на 90 градусов после каждого прохождения вращающегося основания через неподвижное фиксирующее устройство в виде стержня, расположенного на расстоянии от упомянутой втулки меньше величины ее выступов. В частных случаях осуществления изобретения каждая рамка выполнена в виде маски. Обеспечивается возможность нанесения металлических покрытий требуемой конфигурации на пьезоэлектрические пленки с двух сторон в одном технологическом цикле. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.
СПОСОБ ЭЛЕКТРОННОЙ ЛИТОГРАФИИ // 2462784
Изобретение относится к области электронных технологий, а именно к способам нанесения рисунков в технологии изготовления полупроводниковых устройств
