Патенты автора Михель Василий Сергеевич (RU)
СПОСОБ ОЧИСТКИ ТЕТРАМЕТОКСИСИЛАНА // 2463305
Изобретение относится к способам очистки низших тетраалкоксисиланов, в частности тетраметоксисилана, который может быть применен в микроэлектронике и для шихт для волоконно-оптического стекловарения
