Патенты автора Михайловский И.П.
ПОРОГОВЫЙ ЭЛЕКТРОВОСПЛАМЕНИТЕЛЬ // 1166587
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ МОСТ ПОЛНОЙ ПРОВОДИМОСТИ // 1147155
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ МОСТ ПОЛНОЙ ПРОВОДИМОСТИ // 999774
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ // 2029412
Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано в технологии получения полупроводниковых приборов на основе соединений AIIBVI и AIIIBV, для которых принципиально важным аспектом технологии является необходимость использования низкотемпературных процессов и, кроме того, может быть использовано при изготовлении кремниевых ИС при индивидуальной обработке пластин
