FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Хорев Максим Дмитриевич (RU)
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ ЖИДКИХ И ГАЗООБРАЗНЫХ СРЕД
// 2465681
Изобретение относится к технологии изготовления упругих элементов микроэлектромеханических измерительных систем