Патенты автора Богданов Сергей Витальевич (RU)

Изобретения относятся к лавинным фотодетекторам (ЛФД) - быстродействующим, высокочувствительным приборам, широко используемым в лидарах, системах связи, технического зрения, робототехнике, в медицине и биологии в мониторинге окружающей среды и т.д. Предложен способ изготовления лавинного фотодетектора, включающий следующие операции: на всей поверхности полупроводниковой подложки формируют слой умножения; на поверхности слоя умножения вытравливают замкнутую канавку на глубину, равную или большую толщины слоя умножения, но меньшую суммарной толщины подложки и слоя умножения, для формирования внутри нее фотодетектора; заполняют замкнутую канавку сильнолегированным поликристаллическим кремнием с таким же типом проводимости, как у слоя умножения; на части верхней поверхности слоя умножения, ограниченной вышеупомянутой замкнутой канавкой, формируют контактный слой по меньшей мере одного лавинного усилителя, образуя за пределами этого контактного слоя область фотопреобразователя; на контактном слое формируют первый прозрачный электрод; на нижней поверхности полупроводниковой подложки формируют второй электрод. Также предложены еще два варианта способа изготовления ЛФД и ЛФД, изготовленные этими способами. Изобретения позволяют улучшить основную характеристику лавинного фотодетектора - его пороговую чувствительность. 6 н. и 9 з.п. ф-лы, 22 ил.

Изобретения относятся к лавинным фотодетекторам (ЛФД) - быстродействующим, высокочувствительным приборам, широко используемым в лидарах, системах связи, технического зрения, робототехнике, в медицине и биологии в мониторинге окружающей среды и т.д. Предложен способ изготовления лавинного фотодетектора, включающий следующие операции: на всей верхней поверхности полупроводниковой подложки формируют слой умножения; на части верхней поверхности слоя умножения формируют, по меньшей мере, один лавинный усилитель, для чего по границе этой части слоя умножения вытравливают кольцевую канавку глубиной, меньшей, чем толщина слоя умножения, заполняют ее диэлектриком, а внутри области, ограниченной канавкой, наносят контактный слой упомянутого лавинного усилителя, образуя слой фотопреобразователя за пределами области, ограниченной канавкой; на верхнюю поверхность фотопреобразователя наносят слой диэлектрика; на поверхность контактного и диэлектрического слоев наносят первый электрод из прозрачного материала; на нижней поверхности полупроводниковой подложки формируют второй электрод. Также предложены еще один способ изготовления ЛФД и ЛФД, изготовленные этими способами. Изобретения обеспечивают высокую пороговую чувствительность ЛФД, позволяют уменьшить темновой ток прибора и снизить шумы взаимовлияния соседних лавинных усилителей при реализации фотодетектора с множеством таких усилителей. 4 н. и 7 з.п. ф-лы, 18 ил.

Изобретения относятся к лавинным фотодетекторам (ЛФД) - быстродействующим, высокочувствительным приборам, широко используемым в лидарах, системах связи, технического зрения, робототехнике, в медицине и биологии в мониторинге окружающей среды и т.д. Предложен способ изготовления лавинного фотодетектора, включающий следующие операции: на всей поверхности полупроводниковой подложки формируют слой умножения; на всю поверхность слоя умножения наносят слой диэлектрика; на части верхней поверхности слоя умножения и слоя диэлектрика формируют по меньшей мере один лавинный усилитель, для чего в слое диэлектрика и слое умножения вытравливают выемку, боковые стенки которой покрывают слоем диэлектрика, формируют контактный слой упомянутого лавинного усилителя путем заполнения выемки сильнолегированным поликристаллическим кремнием с типом проводимости, противоположным проводимости слоя умножения, с последующей диффузией из области поликристаллического кремния в слой умножения, и фотопреобразователь, образующийся вне выемки; на поверхность контактного слоя и слоя диэлектрика наносят первый электрод из прозрачного материала; на нижней поверхности полупроводниковой подложки формируют второй электрод. Также предложены еще один способ изготовления ЛФД и ЛФД, изготовленные этими способами. Изобретения обеспечивают высокую пороговую чувствительность и также позволяют уменьшить темновой ток прибора. 4 н. и 9 з.п. ф-лы, 18 ил.

Изобретение относится к области медицинской техники и, в частности, к устройствам для физиологической реабилитации после инсульта при спазмировании или парезе верхних конечностей, травм, хирургических и нейрохирургических операций, а также при других причинах нарушения двигательной активности кисти и пальцев рук. Устройство может быть использовано также в качестве тренажера, массажера, автономно либо в составе комплекса со стационарным или мобильным компьютером. Реабилитационно-массажное устройство для кисти и пальцев рук содержит основание с блоком фиксации руки и механизм привода пальца в движение, содержащий крепление для кончика пальцев. Механизм привода пальца в движение содержит пять плоских пятизвенных шарнирных механизмов, установленных таким образом, что их плоскости совпадают с физиологической плоскостью движения каждого пальца руки. Механизм привода одного пальца в движение содержит один плоский пятизвенный шарнирный механизм, в центральном шарнирном узле которого расположено крепление для кончика пальцев, а каждое нижнее звено жестко связано с валом электропривода вращения, закрепленного рядом с ним на основании и независимо соединенного с электронным блоком управления. Изобретение позволяет совместить функции тренажера и массажера в одном устройстве. 5 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к электротехнике и электронике, а именно к одно- и многоканальным стабилизаторам напряжения, и предназначено для использования в системах электроснабжения для регулировки, включая стабилизацию, однофазного и трехфазного напряжения источника электроэнергии переменного тока, а также для регулировки, включая стабилизацию, постоянного напряжения

 


Наверх