Патенты автора Попов Г.В.

Изобретение относится к полупроводниковому производству и может быть использовано при получении тонких покрытий на пластинах

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА НА ПЛАСТИНЫ // 2093921

Изобретение относится к полупроводниковому производству и может быть использовано при получении тонких покрытий из фоторезиста на пластинах (подложках)

СХЕМА УПРАВЛЕНИЯ ОДНОГИРОСКОПНОГО КУРСОУКАЗАТЕЛЯ (ВАРИАНТЫ) // 2063612

Изобретение относится к схемам управления одногироскопных корректируемых курсоуказателей

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НА ПЛАСТИНЫ // 2217841

Изобретение относится к устройствам нанесения покрытий посредством центрифугирования и может быть использовано, в частности, для создания светочувствительного слоя на полупроводниковых пластинах и фотошаблонах

ЛИНИЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ // 2201012

Изобретение относится к области микроэлектроники

УСТРОЙСТВО ОХЛАЖДЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН // 2193258

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано на литографических операциях при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ШЛИФОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН // 2191674

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ШЛИФОВКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН // 2175283

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СНЯТИЯ ФАСКИ ПРИ ФИНИШНОЙ ОБРАБОТКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН // 2168796

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СНЯТИЯ ФАСКИ ПРИ ФИНИШНОЙ ОБРАБОТКЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН // 2163408

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ИЗ ФОТОРЕЗИСТА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ // 2158987

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано на литографических операциях при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ В ПРОЦЕССЕ ЕЕ НАНЕСЕНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

ДИНАМИЧЕСКИ НАСТРАИВАЕМЫЙ ГИРОСКОП // 2157965

Изобретение относится к области точного приборостроения, а именно к гироприборостроению, и может быть использовано для создания прецизионных гироскопических навигационных систем

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ В ПРОЦЕССЕ ЕЕ НАНЕСЕНИЯ // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

СПОСОБ ОХЛАЖДЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ // 2153209

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано на литографических операциях при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СУШКИ, ОРИЕНТАЦИИ И ПОДАЧИ ИЗДЕЛИЙ // 2151728

Изобретение относится к машиностроению, электронике, пищевой и фармацевтической промышленности, а также может быть использовано и в других отраслях промышленности, где необходима сушка с ориентированной подачей изделий на технологические операции

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ФОТОРЕЗИСТА // 2136077

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано на литографических операциях при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных микросхем

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПЛАСТИН // 2131155

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СУШКИ И ОРИЕНТИРОВАННОЙ ПОДАЧИ ДЕТАЛЕЙ // 2130890

Изобретение относится к пищевой промышленности, машиностроению, электротехнике, а также может быть использовано и в других отраслях промышленности, где необходима сушка и ориентированная загрузка изделий на технологические операции