Патенты автора Лучинин В.В.
Изобретение относится к созданию выпрямляющих контактов и может быть применено в полупроводниковом приборостроении для создания активных приборов на полевом эффекте Шоттки
Изобретение относится к микротехнологии
Изобретение относится к микроэлектронному приборостроению и касается конструкции полупроводникового термомеханического микроактюатора
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении микроактюаторов, микрофонов, полевых транзисторов, электретных элементов и др
Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано при проведении различных процессов отрасли
Изобретение относится к прикладной физике и химии и может быть использовано в конструкции интегрированной микрочиповой системы для тестирования
ИСТОЧНИК ИНФРАКРАСНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ // 2165663
Изобретение относится к микроэлектронике и касается конструкции изготовления малоинерционного микроэлектронного источника ИК излучения
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии конструирования полупроводниковых датчиков ультрафиолетового излучения (УФИ)
Изобретение относится к прикладной физике и микроэлектронике и может быть использовано при получении моно- и мультислойных структур низкомолекулярных и высокомолекулярных соединений, преимущественно ограниченно растворимого амфифильного вещества (ОРАФВ) из жидкой фазы
Изобретение относится к микроэлектронике и касается технологии изготовления микромеханических приборов, в частности, микрогироскопов, микроакселерометров, микродатчиков давления, из кремнийсодержащих полупроводниковых структур
