Патенты автора ОВЧАРЕНКО АЛЕКСАНДР НИКОЛАЕВИЧ
Установка для солнцелечения // 1802281
Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано для получения эпитаксиальных слоев кремния зонной перекристаллизацией в поле температурного градиента
