Изобретение относится к плазменной технике и плазменной технологии обработки материалов, а более конкретно - к методам обработки поверхностей изделий при помощи газовых разрядов высокого давления
Изобретение относится к плазменной технологии нанесения покрытий на металлические и диэлектрические подложки, а более конкретно к технологии плазменной полимеризации, и к процессам генерации плазмы
Изобретение относится к плазменной технике, а более конкретно - к плазменным источникам, предназначенным для генерации интенсивных ионных пучков, и к способам их работы