Патенты принадлежащие Билалов Билал Аругович (RU)
СОЛНЕЧНЫЙ МОДУЛЬ // 2468305
Изобретение относится к области фотоэлектроники и предназначено для преобразования потока солнечного излучения в электроэнергию. .
Изобретение относится к оборудованию для получения многослойных структур для микро-, нано- и оптоэлектроники ионно-плазменным методом. .
Изобретение относится к устройствам для получения твердых растворов карбида кремния с нитридом алюминия, используемых в производстве силовых, СВЧ- и оптоэлектронных приборов, работающих при высокой температуре и в агрессивных средах.
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОПРИБОРА // 2425430
Изобретение относится к технологии изготовления микросхем и микроэлектромеханических приборов. .
ДВУХПУЧКОВЫЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК // 2407100
Изобретение относится к плазменной технике, а именно к источникам получения пучка ионов, и может быть использовано в ионно-лучевых технологиях для модификации поверхностей изделий и для нанесения на них тонких пленок SiC, AIN, твердых растворов на их основе и т.д.
Изобретение относится к оборудованию для получения микроэлектронных устройств методом ионного распыления. .
ПЕЧЬ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ КАРБИДА КРЕМНИЯ // 2330128
Изобретение относится к электротермическому оборудованию и предназначено, в частности, для производства монокристаллов карбида кремния эпитаксией из газовой фазы. .
ТИГЕЛЬ ДЛЯ ЭПИТАКСИИ КАРБИДА КРЕМНИЯ // 2324019
Изобретение относится к материалам электронной техники, в частности к технологии производства монокристаллов карбида кремния эпитаксией из газовой фазы. .
