Патенты принадлежащие ТОЙО ТАНСО КО., ЛТД. (JP)
Изобретение относится к покрытому карбидом тантала углеродному материалу и способу его изготовления. Покрытый карбидом тантала углеродный материал содержит углеродную подложку и покрывающую ее пленку карбида тантала.
