Патенты принадлежащие Закрытое акционерное общество "Полупроводниковые технологии и оборудование" (RU)
Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и может быть использовано при изготовлении мощных СВЧ-транзисторов с использованием гетероструктур на основе нитридов III группы.
