Патенты принадлежащие ХЕРАЕУС НОУБЛЛАЙТ ГМБХ (DE)
Изобретение относится к устройству для термической обработки подложки, причем устройство имеет нагревательный узел и носитель, снабженный опорной поверхностью для поддержания подложки. Технический результат - создание устройства, носителя и элемента для поддержки подложки для носителя, которые делают возможной простую термическую обработку подложек с высокой производительностью.
ОБЛУЧАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГЕНЕРАЦИИ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, А ТАКЖЕ СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ // 2609034
Изобретение к облучающему устройству для генерации ультрафиолетового излучения. Технический результат изобретения заключается в увеличении срока эксплуатации облучающего устройства.
Изобретение относится к способу функционирования безэлектродной газоразрядной лампы при рабочей частоте. .
Изобретение относится к области электротехники. .
