Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "Нанометр" (RU)

Изобретение относится к области производства подложек из лейкосапфира для гетероэпитаксии нитридов III группы. .
Изобретение относится к области очистки сапфировых подложек для гетероэпитаксии нитридов III группы, которые в дальнейшем применяются для изготовления различных оптоэлектронных элементов и устройств. .
Наверх