Патенты принадлежащие Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет), (МИЭТ) (RU)
Изобретение относится к области измерения оптических характеристик твердых, жидких и газообразных рассеивающих веществ и может найти применение в промышленности и медицине, в процедурах контроля качества рассеивающих веществ путем измерения их оптических характеристик, а именно путем измерения фактора анизотропии и коэффициентов рассеяния и поглощения вещества.
Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к реакторам для высокоплотной и высокочастотной плазменной обработки полупроводниковых структур. .
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения нелинейности выходной характеристики акселерометров. .
