Патенты принадлежащие Физико-технический институт Уральского отделения Российской академии наук ФТИ УрО РАН (RU)

Изобретение относится к области электротехники, в частности к устройству подготовки поверхности образца и камеры для последующих воздействий и анализа, и может быть использовано в высоко- и сверхвысоковакуумных установках для анализа или исследования твердых тел.
Наверх