Патенты принадлежащие Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения" (RU)
ПЛАЗМЕННЫЙ РЕАКТОР С МАГНИТНОЙ СИСТЕМОЙ // 2483501
Изобретение относится к устройствам технологического оборудования и может быть использовано в технологии производства электронных компонент. .
Изобретение относится к плазменному оборудованию для многослойного нанесения пленочных покрытий при изготовлении приборов электронной техники. .
СВЧ ПЛАЗМЕННЫЙ РЕАКТОР // 2403318
Изобретение относится к СВЧ плазменному реактору и может найти применение при формировании пленки большого размера, соизмеримого по диаметру с длиной СВЧ волны. .
