Патенты принадлежащие Учреждение Российской академии наук Физико-технологический институт РАН (RU)
Изобретение относится к области микро- и наноэлектроники, а именно к способам формирования приборных систем микро- и наноэлектроники. .
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИ ИЗОЛИРОВАННЫХ ОБЛАСТЕЙ КРЕМНИЯ В ОБЪЕМЕ КРЕМНИЕВОЙ ПЛАСТИНЫ // 2403647
Изобретение относится к приборам микро- электромеханических систем (МЭМС), в частности к их изготовлению на стандартных пластинах кремния. .
