Патенты принадлежащие Фирма КСС Корпорейшин Республика Корея (KR)
СПОСОБ ГЛУБОКОЙ ОЧИСТКИ ВОДОРОДА // 2415075
Изобретение относится к области химии и может быть использовано при очистке водорода от примесей бора, фосфора и этилена. .
СПОСОБ НЕПРЕРЫВНОГО ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА // 2414421
СПОСОБ ГЛУБОКОЙ ОЧИСТКИ МОНОСИЛАНА // 2410326
Изобретение относится к технологии получения высокочистых силанов, а именно к способам глубокой очистки моносилана, пригодного для формирования тонких полупроводниковых и диэлектрических слоев, а также поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты различного назначения.
