Патенты принадлежащие Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ) (RU)
ДЕТЕКТОР ЭЛЕКТРОНОВ // 2412503
Изобретение относится к области электронного приборостроения, а более конкретно - к конструкции детекторов электронов, и может найти преимущественное использование в электронных микроскопах. .
