Патенты принадлежащие Кварацхели Юрий Константинович (RU)
Изобретение относится к области химической технологии, в частности к получению гидрида кремния (моносилана), и может быть использовано в производстве полупроводниковых структур, микроэлектронике и солнечной энергетике.
