Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "НИИ Радиоэлектроники и лазерной техники" (RU)
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, во встраиваемой технологической аппаратуре для оперативного контроля оптических параметров пленок в процессе их нанесения.
