Патенты принадлежащие Государственное образовательное учреждение высшего профессионального Образования "Дагестанский государственный технический университет" (ДГТУ) (RU)
Изобретение относится к технологии изготовления силовых кремниевых транзисторов и интегральных схем, в частности к способам обработки подложек для формирования контактных окон. .