Патенты принадлежащие НОРСРОП ГРУМАН ЛИТЕФ ГМБХ (DE)
КОРИОЛИСОВ ГИРОСКОП // 2439495
Изобретение относится к Кориолисову гироскопу, имеющему конструкцию, содержащую подложку (5, 22, 24, 26), по меньшей мере две отдельные структуры (61, 62, 63, 64, 500, 600, 700, 800) и упругие элементы (например, 1, 2, 3, 21, 23, 25), которые связывают отдельные структуры (61, 62, 63, 64, 500, 600, 700, 800) с подложкой (5, 22, 24, 26) и между собой, используя датчики силы (например, 514, 614, 714, 814) и ответвители (например, 534, 634, 734, 834), причем указанная конструкция имеет по меньшей мере одну моду (7) возбуждения, которая может быть возбуждена датчиками (например, 514, 614, 714, 814), силы и по меньшей мере одну моду (8) детектирования, которая может быть измерена ответвителями (например, 534, 634, 734, 834), при этом мода (7) возбуждения и мода (8) детектирования блокированы, в результате чего не может быть вызвано никакого искажающего возбуждения моды возбуждения и моды детектирования посредством линейных ускорений и/или вибраций, если необходимости учитывать производственные допуска.
ДАТЧИК СКОРОСТИ ВРАЩЕНИЯ // 2436041
Изобретение относится к способу эксплуатации емкостного микроэлектромеханического датчика. .
ЭЛЕМЕНТ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ // 2424972
Изобретение относится к микромеханическим, микроэлектромеханическим (МЭМС) и микрооптоэлектромеханическим (МОЭМС) элементам, а также способам их изготовления. .
Изобретение относится к микроэлектромеханическим датчикам, используемым в качестве кориолисовых гироскопов. .
