Изобретение относится к твердооксидному топливному элементу (ТОТЭ (SOFC)) и способу получения барьерного слоя твердооксидного топливного элемента, устойчивого к катодной диффузии. Указанный способ содержит этапы, на которых слой поливалентно легированного диоксида церия осаждают путем атомно-слоевого осаждения на слой электролита, составленного из поливалентно стабилизированного диоксида циркония спеченного полуэлемента.