Патенты принадлежащие Закрытое Акционерное Общество "Научное и технологическое оборудование" (RU)
Изобретение относится к технике, используемой для нагревания полупроводниковой подложки при выращивании тонких эпитаксильных пленок методом молекулярно-пучковой эпитаксии. .
