Патенты принадлежащие Федеральное государственное учреждение Научно-производственный комплекс "Технологический Центр" Московского государственного института электронной техники (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСЛОЕВ // 2425794
Изобретение относится к технологии формирования наноэлектронных структур. .
