Патенты принадлежащие ХУТАМАКИ ФОРХХАЙМ ЦВАЙГНИДЕРЛАССУНГ ДЕР ХУТАМАКИ ДОЙЧЛАНД ГМБХ УНД КО.КГ (DE)
Изобретение относится к способу получения тонких слоев силикона, к полученному этим способом тонкому силиконовому слою и к применению тонкого силиконового слоя. .
