Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "БАРГАН ТЕХНОЛОДЖИ" (ООО "БТЕХ") (RU)
Изобретение относится к микроэлектронике, а более конкретно к способам изготовления многослойных нанокомпозитов для конденсаторов, в частности наноструктур металл-диэлектрик-металл (МДМ) с нанометровой толщиной слоев.
Изобретение относится к нанослойным структурам типа металл-диэлектрик-металл для микроэлектроники. .
