Патенты принадлежащие Смолин Павел Викторович (RU)
ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ И УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА ЕГО ОСНОВЕ // 2437964
Изобретение относится к подложкодержателю и установке для нанесения покрытий методом магнетронного распыления. .
