FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты принадлежащие Закрытое Акционерное Общество "ЭЛЛИНА-НТ" (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧИСТОГО ТРИХЛОРСИЛАНА
// 2440293
Изобретение относится к технологии получения высокочистого трихлорсилана, применяемого в качестве источника кремния в технологиях микроэлектроники и наноэлектроники. .
Подписаться на новые патенты этого владельца
Отправить сообщение владельцу патента
Я этот человек или организация