Патенты принадлежащие ТОКИО ДЕНПА КО., ЛТД. (JP)

Изобретение относится к технологии изготовления детали из искусственного кварца для применения в качестве оптического элемента для ArF-литографии, подлежащего облучению лазерным светом, имеющим длину волны 200 нм или короче.
Наверх