Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью "ЭСТО-Вакуум" (RU)
Изобретение относится к плазменной технике и может быть использовано для нанесения многослойных покрытий на поверхность изделий в виде тонких пленок. .
Изобретение относится к плазменной технике и может быть использовано для нанесения многослойных покрытий на поверхность изделий в виде тонких пленок. .
Изобретение относится к технологии производства электронных компонентов для микро- и наносистемной техники. .