Патенты принадлежащие Общество с ограниченной ответственностью (ООО) "Нанофин" (RU)
Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано в технологии получения монокристаллов фосфида индия методом Чохральского из-под слоя борного ангидрида под давлением инертного газа.
