Патенты принадлежащие Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)" (RU)
ГАЗОВЫЙ МИКРОНАСОС // 2462615
Изобретение относится к классу молекулярных газовых насосов, использующих эффект теплового скольжения газа вдоль неравномерно нагретых стенок для создания откачки. .
