Патенты принадлежащие Ольшанский Владимир Александрович (RU)
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОСИЛАНА // 2466089
Изобретение относится к технологии получения моносилана, используемого в производстве поли- и монокристаллического кремния градации SG и EG, а также полупроводниковых структур методом газовой эпитаксии.
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СИНТЕТИЧЕСКОГО ФЛЮОРИТА // 2465206
Изобретение относится к получению синтетического флюорита, обладающего высокими сорбционными свойствами по отношению к тетрафториду кремния. .
