Патенты принадлежащие Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук (RU)
Изобретение относится к способам анализа двухкомпонентных структур на основе кремния и может использоваться в электронной промышленности. .
