Патенты принадлежащие федеральное государственное бюджетное учреждение "Научно-производственный комплекс "Технологический центр "МИЭТ" (RU)
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в интегральных и сенсорных датчиках давления, изготовленных на основе гибридной и микромодульной технологии. .
