Патенты принадлежащие Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины (UA)

Изобретение относится к устройствам технологического оборудования и может быть использовано в технологии производства электронных компонент. .

Изобретение относится к плазменному оборудованию для многослойного нанесения пленочных покрытий при изготовлении приборов электронной техники. .