Патенты принадлежащие Учреждение Российской академии наук Институт автоматики и процессов управления Дальневосточного отделения Российской академии наук (ИАПУ ДВО РАН) (RU)
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ УЛЬТРАТОНКОЙ ПЛЕНКИ // 2487188
Изобретение относится к способам получения ультратонких пленок и может быть использовано для производства новых твердотельных приборов на основе пленочных наноматериалов и наноструктур на полупроводниковой или иной подложке.
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ УЛЬТРАТОНКОЙ ПЛЕНКИ // 2486279
Изобретение относится к способам формирования ультратонких пленок. .
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ УЛЬТРАТОНКОЙ ПЛЕНКИ // 2485209
Изобретение относится к способам формирования ультратонких пленок. .
